高純氣體分析色譜儀能夠在連續運行的情況下保持性能不變
點(diǎn)擊次數:176 更新時(shí)間:2024-04-28
高純氣體分析色譜儀是一種專(zhuān)門(mén)用于檢測和分析高純度氣體中微量雜質(zhì)的設備。在半導體制造、氣體生產(chǎn)、石油化工以及科研等領(lǐng)域,對氣體純凈度的要求非常高,即使是極微量的雜質(zhì)也可能影響產(chǎn)品質(zhì)量或實(shí)驗結果?;跉庀嗌V法(GasChromatography,GC)的原理工作。氣相色譜法是一種分離和分析化合物的方法,它利用不同化合物在移動(dòng)相(載氣)和固定相(填充在色譜柱中的固定劑)之間分配系數的差異來(lái)實(shí)現分離。當樣品氣體通過(guò)色譜柱時(shí),不同的組分會(huì )以不同的速率遷移,從而在不同的時(shí)間到達檢測器,通過(guò)檢測器的響應信號可以得到各個(gè)組分的含量。
1.高靈敏度:能夠檢測到ppm(百萬(wàn)分之一)甚至ppb(十億分之一)級別的微量雜質(zhì)。
2.高精度:采用高精度的傳感器和先進(jìn)的數據處理技術(shù),確保分析結果的準確性。
3.高穩定性:設備設計穩定可靠,能夠在連續運行的情況下保持性能不變。
4.多組分分析:可以同時(shí)分析多種雜質(zhì)組分,提高分析效率。
5.自動(dòng)化操作:具備自動(dòng)化進(jìn)樣、分析和數據記錄功能,減少人為誤差。
應用場(chǎng)景:
1.半導體生產(chǎn)過(guò)程中的氣體純度檢測。
2.氣體生產(chǎn)廠(chǎng)家對產(chǎn)品的質(zhì)量監控。
3.實(shí)驗室中對實(shí)驗氣體的分析研究。
4.環(huán)境監測中對大氣中有害氣體的檢測。
操作流程:
1.準備樣品:將待分析的高純氣體裝入樣品瓶中。
2.系統初始化:開(kāi)啟設備,進(jìn)行系統的自檢和預熱。
3.進(jìn)樣:通過(guò)自動(dòng)進(jìn)樣系統將樣品氣體引入色譜儀。
4.分析:樣品氣體在載氣的推動(dòng)下通過(guò)色譜柱,不同組分被分離并依次通過(guò)檢測器。
5.數據采集:檢測器檢測到的信號轉換為電信號,由數據采集系統記錄。
6.結果輸出:計算機軟件根據記錄的數據計算出各組分的含量,并輸出分析報告。
7.系統清洗:分析完成后,用純凈氣體清洗系統,準備下一次分析。
高純氣體分析色譜儀的維護與保養:
1.定期校準:定期對儀器進(jìn)行校準,確保檢測結果的準確性。
2.清潔維護:保持設備的清潔,定期更換或清洗色譜柱和檢測器。
3.故障排查:對出現的異常情況及時(shí)進(jìn)行故障排查和維修。
4.使用記錄:詳細記錄每次使用的情況,包括樣品信息、操作人員、分析結果等。